热导传感器用于前级泵抽真空时真空度的测量

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真空泵是一种利用机械、物理、化学、物理和化学等方法对容器抽真空，以获得并保持真空的装置的气体输送器械。它将低于大气压的环境中的气体输送到大气中，或在同一环境中以大气压输送气体。真空泵的作用是从真空室内抽出气体分子，使设备内的压力低于整机大气压，使真空室内的气体压力降低，达到所要求的真空度。

随着真空应用的发展，真空泵的种类繁多，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万或几百万升不等。极限压力（极限真空）范围从粗真空到10-12Pa以上的极高真空。为了保证真空泵能达到较高的真空度，必须保证真空泵转子之间的间隙。因此，在使用真空泵时，必须配备前级泵。

前级真空泵是指排气至大气压力的真空泵。用前级泵将系统中的压力抽到一定范围后再启动真空泵，以免真空泵超负荷运行。它们还需要支持辅助泵或实现其运行的初始条件。后备泵可选用水（液）环真空泵、旋片真空泵、滑阀真空泵、往复式真空泵等直接排气的真空泵。

由于真空应用部门所涉及的工作压力范围很广，任何类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围。只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求采用不同的型式。真空泵。为了使用的方便和各种真空工艺的需要，有时将各种真空泵按其性能要求进行组合，以单元式应用。真空泵抽的真空度测量一般使用传感器来监测，如工采网代理的以下两款真空度检测的传感器：

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 - MTCS2601，遵循没有化学反应的物理皮拉尼原理，可以使用在串扰气体环境中，，与一个简单恒定的温度电路兼容。

瑞士Neroxis 热导式气体传感器 微型皮拉尼真空计 压力计 - MTCS2300系列，采用镍铂电阻MEMS技术， 将一个大微机械低应力氮化硅膜、两个加热用薄膜电阻以及体硅上的两个补偿用参考电阻，集成在微型封装中。

荷兰Xensor热导式气体传感器- XEN-TCG3880：是用硅技术制造的热导式传感器。传感器芯片包含了2.5*3 33mm的硅晶片, 0.3mm的厚度,有一层氮化硅的薄膜，可用于10mPa~10KPa之间的真空度测量。